口腔黏膜下纤维化是一种慢性、进行性且具有潜在恶性的口腔黏膜疾病，其病因是多因素的，以下是主要的病因：

首先是咀嚼槟榔，这是最主要的致病因素。槟榔中的生物碱成分，如槟榔碱等，会刺激口腔黏膜成纤维细胞的增殖和胶原合成，同时抑制胶原的降解，导致大量胶原纤维在口腔黏膜下沉积，进而引起黏膜纤维化。而且槟榔的粗纤维在咀嚼过程中会对口腔黏膜造成机械性损伤，破坏黏膜的完整性，使黏膜更容易受到槟榔生物碱等有害物质的侵害，加速纤维化的进程。

其次，免疫因素也起到重要作用。研究发现，患者的血清中存在自身抗体，如抗核抗体、抗平滑肌抗体等，同时免疫复合物在病变组织中沉积，提示免疫反应参与了疾病的发生发展。机体免疫系统可能将口腔黏膜中的某些成分识别为外来抗原，启动免疫攻击，导致组织损伤和纤维化。

再者，营养缺乏也与该病有关。维生素A、B族维生素、维生素C以及微量元素铁、锌等的缺乏，会影响口腔黏膜的正常代谢和修复功能。维生素A对维持上皮细胞的正常分化和生长至关重要，缺乏时上皮细胞的更新和修复能力下降；B族维生素参与体内多种代谢过程，缺乏会影响黏膜的营养供应和代谢；维生素C具有抗氧化作用，能促进胶原蛋白的合成和维持其稳定性，缺乏时胶原合成可能出现异常。

另外，遗传因素也可能在发病中起一定作用。有研究表明，某些特定的基因多态性与口腔黏膜下纤维化的易感性相关，家族中有患该病的人，其他成员发病的风险可能会增加。

最后，长期食用辛辣食物、吸烟、饮酒等不良生活习惯也可能是诱发因素。辛辣食物的刺激会使口腔黏膜处于反复的炎症状态，吸烟和饮酒中的有害物质会损害口腔黏膜细胞，影响黏膜的正常生理功能，增加患病的可能性。