1859年R.W.本生利用本生灯进行焰色反应，就是火焰分光光度法的起源，用此法发现了许多新元素。1928年瑞典植物生理学家H.G.龙德加德用火焰光谱法研究植物新陈代谢作用中微量元素的定量变化，并使用了参考元素技术。由于当时使用照相方法记录谱线，致使准确定量分析工作较为繁琐。1935年制成第一台火焰光谱光电直读光度计，以及后来W.吉尔伯特制作的直接注入式燃烧器的使用，使得火焰光度法应用范围进一步扩大。
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